飛納臺(tái)式掃描電鏡人性化軟件操作界面
飛納臺(tái)式掃描電鏡采用整塊材質(zhì)中間掏空制成，從而在同類產(chǎn)品中具有好的束流穩(wěn)定性，受外界環(huán)境的干擾更小，保證高分辨率及獲得細(xì)節(jié)更加豐富的圖像，采用幾塊材質(zhì)拼接而成，受外界干擾較大，束流穩(wěn)定性 較差，自然其圖像性能也大受影響。
飛納臺(tái)式掃描電鏡主要是利用二次電子信號(hào)成像來觀察樣品的表面形態(tài)，即用匯聚得很細(xì)小的電子束在樣品表面掃描，通過電子束與樣品的相互作用產(chǎn)生各種信號(hào)（如二次電子信號(hào)）來獲得材料表面細(xì)節(jié)信息。飛納臺(tái)式掃描電鏡由電子光學(xué)系統(tǒng)、信號(hào)收集及顯示系統(tǒng)、真空系統(tǒng)和電源系統(tǒng)組成。其中，電子光學(xué)系統(tǒng)又由電子槍、電磁透鏡、掃描線圈和樣品室等部件組成。工作時(shí)，電子槍發(fā)射出的電子束被電磁透鏡匯聚成極細(xì)的 電子束，在樣品表面進(jìn)行掃描，激發(fā)樣品表面產(chǎn)生二次電子。二次電子由探測器收集，并被閃爍體轉(zhuǎn)變成光信號(hào)。
二次電子產(chǎn)生的多少與樣品表面的形貌有關(guān)。樣品不同區(qū)域所激發(fā)出的二次電子的數(shù)量不同的，那么經(jīng)光電倍增管和放大器轉(zhuǎn)變成的電壓信號(hào)就有相應(yīng)的差別，反映在熒光屏上相應(yīng)部位也有或亮或暗的襯度差， 終得到一幅樣品表面放大的黑白圖像。分辨率較低的飛納臺(tái)式掃描電鏡的探測器一般位于電磁透鏡和樣品之間。在這種情況下，探測器和樣品的距離就比較近，樣品和透鏡的距離（工作距離）就比較遠(yuǎn)。事實(shí)上，飛納 臺(tái)式掃描電鏡的圖像分辨率與工作距離密切相關(guān)，距離長會(huì)導(dǎo)致圖像分辨率降低，而距離近則能提高圖像分辨率。
為了提高飛納臺(tái)式掃描電鏡的圖像分辨率，就要盡可能地縮短樣品和透鏡之間的距離，采用的方法就是把探測器往電磁透鏡上方移。這樣，工作距離就可以縮得很短。2000年以后，工作距離更短、圖像分辨率更高 的場發(fā)射掃描電鏡應(yīng)運(yùn)而生，并成為主流產(chǎn)品。而目前主流場發(fā)射飛納臺(tái)式掃描電鏡采用半浸沒式或全浸沒式電磁透鏡，也就是將探測器裝在電磁透鏡上方或者里面。
探測器在樣品和電磁透鏡之間的鎢絲燈掃描電鏡設(shè)計(jì)簡單，利用電場的作用來探測二次電子，只需要在探測器的前端加一個(gè)正電壓，探測器就可以將二次電子“吸過去”，收集起來。而場發(fā)射飛納 臺(tái)式掃描電鏡將探測器裝到電磁透鏡里面以后，雖然樣品和透鏡的距離拉近，但是探測器和樣品的距離卻變得更遠(yuǎn)了，收集二次電子的效率就會(huì)大大降低。
