飛納電子顯微鏡通過電子束照射樣品，利用電子與樣品中的原子相互作用產(chǎn)生的散射來形成圖像。電子束通過電磁透鏡聚焦，這些透鏡由電子槍產(chǎn)生，并通過調(diào)節(jié)電流大小來控制焦距。由于電子束的波長(zhǎng)遠(yuǎn)短于可見光，分辨率能夠達(dá)到納米級(jí)別甚至更高。透射(TEM)和掃描(SEM)是兩種主要類型。
飛納電子顯微鏡用于聚焦電子束，從而在樣品處形成一個(gè)細(xì)小的光斑。電磁透鏡通過調(diào)節(jié)磁場(chǎng)強(qiáng)度來改變電子的路徑，使電子束在樣品表面上形成清晰的圖像。與傳統(tǒng)光學(xué)透鏡不同，電磁透鏡不會(huì)受到色差的限制，因此可以獲得更高的分辨率。電磁透鏡通常由包著線圈的軟鐵鎧裝組成，這些線圈產(chǎn)生軸對(duì)稱的磁場(chǎng)，使電子束在中心孔中聚焦。
飛納電子顯微鏡的維護(hù)保養(yǎng)方法：
1.安全操作
-電源與連接：在使用前，確保所有連接線都已經(jīng)插好，并檢查電源是否正常。
-環(huán)境控制：保持電鏡室潔凈，室內(nèi)溫度控制在20±5℃，濕度在65%以下。
-個(gè)人防護(hù)：穿戴適當(dāng)?shù)膶?shí)驗(yàn)室衣物、防護(hù)眼鏡和手套，確保個(gè)人安全。
2.日常維護(hù)
-清潔鏡頭表面：定期使用干凈、柔軟的鏡頭紙輕輕擦拭鏡頭表面，避免使用有化學(xué)殘留物的清潔劑。
-冷阱管理：每天開機(jī)前檢查冷阱是否已清空，并定期更換吸附劑。
-真空泵油位：每周檢查真空泵油的級(jí)別，并根據(jù)需要及時(shí)添加或更換。
-圖像系統(tǒng)校準(zhǔn)：定期校準(zhǔn)顯微鏡的圖像系統(tǒng)，以確保成像的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。
-樣本處理：處理樣本前，確保顯微鏡處于適當(dāng)?shù)恼婵諣顟B(tài)，使用工具將樣品表面清潔干凈，避免直接觸碰樣品持有器或帶電部件。
3.長(zhǎng)期保養(yǎng)
-定期檢查：定期檢查顯微鏡的各個(gè)部件，包括平臺(tái)的橫向和縱向調(diào)節(jié)螺絲、照明系統(tǒng)開關(guān)和調(diào)節(jié)按鈕等，發(fā)現(xiàn)阻力或損壞應(yīng)及時(shí)修理或更換。
-潤(rùn)滑維護(hù)：對(duì)移動(dòng)部分進(jìn)行定期潤(rùn)滑，確保緩慢而平穩(wěn)的運(yùn)動(dòng)。
-鏡片誤差校正：定期校準(zhǔn)顯微鏡鏡片的誤差，防止因鏡片誤差影響成像質(zhì)量。
-真空系統(tǒng)維護(hù)：定期更換機(jī)械泵油，清洗擴(kuò)散泵油，確保真空系統(tǒng)的穩(wěn)定運(yùn)行。
-電鏡功能檢測(cè)：定期開啟電鏡各功能部分，每次時(shí)間不應(yīng)小于1小時(shí)，防止電氣元件老化。
-X射線泄漏檢測(cè)：定期檢測(cè)電鏡X射線的泄漏情況，確保操作人員的安全。
